（1）行業概況
電子氣體在電子產品制程工藝中廣泛應用于離子注入、刻蝕、氣相沉積、摻 雜等工藝，被稱為集成電路、液晶面板、LED 及光伏等材料的“糧食”和“源”。電子特氣是電子氣體的一個重要分支，是集成電路、平面顯示器件、太陽能電池 等電子工業生產不可或缺的原材料。
資料來源：前瞻產業研究院 思瀚整理
在下游應用領域中，半導體領域對電子特種氣體的純度和質量穩定性要求最高。近年來集成電路制造領域技術快速更迭，制程節點不斷減小，晶圓尺寸不斷變大。作為集成電路制造的關鍵材料，伴隨著下游產業技術的快速迭代，電子特氣對純度和精度的要求持續提高，比如在純度方面，普通工業氣體要求在 99.99% 左右，但是在先進制程的集成電路制造過程中，氣體純度要求通常在 6N （99.9999%）以上。
電子特氣對半導體器件性能好壞起到重要作用。電子特氣在 半導體制造的材料成本中占比為 13%左右，是半導體制造成本中僅次于硅片的第 二大材料。
（2）市場空間和市場競爭格局
全球電子特氣市場保持平穩增長。根據 SEMI 數據，2019 年全球電子特氣 市場規模為 42 億美元。根據 SEMI 預計，至 2020 年電子特氣在半導體材料中的 占比將會進一步提高，將超過光掩模成為占比第二大的材料，約占 13%，市場規 模將達到 43.7 億美元。2019 年起行業增速將有所回落，未來行業將保持在 5% 左右的增速。
數據來源：SEMI 思瀚整理
中國特種氣體市場增速明顯高于全球平均，市場潛力大。近年來，全球半導體、顯示面板產業逐步向國內轉移，打造“中國芯”、實現進口替代的緊迫性、 重要性不斷加強，半導體集成電路方面的自主研發及產業化將得到大力推動，集成電路、顯示面板產業的發展將形成對電子特種氣體材料需求的有效帶動。根據前瞻產業研究院數據，中國電子特氣 2020 年市場規模為 150億元，占全球比例約為 48%，預計 2024年我國電子特氣市場規模將達到 230 億元，全球占比將提高至 60%，2020-2024 年復合增速將達 11.28%。
2020 年上半年，韓國三星、LG等公司宣布今年內關閉位于中國、韓國的 LCD 面板廠，加速了 LCD 面板產能向國內廠商轉移的速度。根據中國產業信息網的數據，韓國廠商的加速退出將使得其 2020 年及 2021 年的 LCD 面板供給量 分別下滑 5.4%和 3.5%。相應地，LCD 面板行業將呈現結構性變化，大陸面板廠 商迎來替代機遇。
根據思瀚數據顯示，大陸面板廠的大尺寸面板產能占比從2019 年的 44.8%提升至 2021 年的 65.3%。隨著全球半導體產業鏈向國內轉移，國內電子氣體市場增速明顯，遠高于全球增速。近年來國內半導體市場發展 迅速，在建和未來規劃建設的產能為電子氣體提供了廣闊的空間。
數據來源：前瞻產業研究院
從細分產品來看，砷烷、磷烷主要用于集成電路制造的摻雜工藝和 LED 的 化學氣相沉積工藝，是半導體領域加工制造過程中的關鍵材料之一。下游以集成 電路為主的旺盛需求為磷烷砷烷提供了廣闊的增長空間。
根據QY Research數據， 全球磷烷、砷烷產能于 2028 年將分別達到 480 噸、290 噸，2022 年至 2028 年復 合增長率分別為 12.25%、13.59%，保持穩健增長。這其中，國內高純磷烷產能 在 2024 年將達到 212 噸，占全球比例為 55.79%，至 2028 年預計將達到 292 噸， 占全球比例上升至 60.83%，2022 年至 2028 年復合增長率達到 19.16%，增速高 于全球水平；國內高純砷烷產能 2024 年將達到 160 噸，占全球比例為 60.38%， 至 2028 年預計將達到 180 噸，占全球比例上升至 62.07%，2022 年至 2028 年復 合增長率達到 23.80%，亦高于全球水平。同時，國內市場銷售規模也呈快速增長趨勢。
國內磷烷 2021 年市場規模為 10,802 萬元，預計 2028 年將達到 33,000 萬元，全球占比將達到 46.02%；國內砷 烷 2021 年市場規模為 8,412 萬元，預計 2028 年將達到 15,880 萬元，全球占比將 達到 38.93%，中國將成為磷烷、砷烷的主要銷售地區。含氟電子特氣作為集成電路制造領域優良的等離子蝕刻和清洗材料，近年來 呈現良好的增長趨勢。
華經產業研究院、QY Research 的統計顯示，2021 年國內 三氟化氮需求量達到約1.6萬噸，占全球約40%-42%。QY Research預測2019-2021年國內三氟化氮需求量復合增長率約為 23.2%，華經產業研究院預計為 28.7%， 按照低值 23.23%保守預計，至2025 年，國內三氟化氮市場需求量達到 3.7 萬噸，2030 年超過 10 萬噸。
從整體上看，我國電子特氣呈現出受制于人的局面，但從細分市場上看，我 國部分特氣產品已實現彎道超車，需通過進一步擴產來擴大市場份額、鞏固競爭 優勢。如在磷烷、砷烷領域，南大光電的高純磷烷、砷烷產品已實現自主可控并已占據市場主要份額；在含氟電子特氣領域，國內廠商已經是國內三氟化氮市場 的主要供應商，但由于旺盛的產品需求和對國際廠商的替代，仍需進一步進行擴產。
